The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
The Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
단편논문/SHORT PAPER

28-nm FD SOI CMOS 공정을 이용한 140 GHz 저잡음 증폭기 설계

성기환1, 박재현1, 김병성1,*
Ki-hwon Sung1, Jae-hyun Park1, Byung-sung Kim1,*
1성균관대학교 정보통신대학
1College of Information & Communication Engineering, Sungkyunkwan University
*Corresponding Author: Byung-sung Kim (e-mail: bskimice@skku.edu)

© Copyright 2020 The Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science. This is an Open-Access article distributed under the terms of the Creative Commons Attribution Non-Commercial License (http://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/) which permits unrestricted non-commercial use, distribution, and reproduction in any medium, provided the original work is properly cited.

Received: Mar 20, 2020; Revised: Apr 17, 2020; Accepted: Apr 18, 2020

Published Online: Apr 30, 2020

요약

본 논문은 28-nm CMOS FD SOI 공정을 이용해 D-band 저잡음 증폭기를 설계한 결과를 제시한다. 설계한 저잡음 증폭기는 3단 차동 공통소스 구조를 가지며, 트랜스포머를 사용해 각 단 및 입출력 임피던스 정합 회로를 구성하였다. 제작한 저잡음 증폭기는 139 GHz에서 최대이득 15.17 dB을 보이며, 3-dB 대역폭은 11 GHz이다. 제작한 칩의 면적은 패드를 포함해 0.255 mm2이며, 1.0 V 공급 전원에서 27 mW의 전력을 소비한다.

Abstract

This paper presents the design of a D-band, low-noise amplifier (LNA) employing a 28-nm, fully depleted silicon-on-insulator complementary metal-oxide-semiconductor technique. This designed LNA comprises a three-stage differential common-source amplifier, and impedance matching is achieved using a transformer. The fabricated LNA chip yields a peak gain of 15.17 dB at 139 GHz, with a 3-dB bandwidth of 11 GHz. The total area of the chip, including the pads, is 0.255 mm2, and the chip consumes 27 mW of DC power from a 1.0-V supply.

Keywords: Low-Noise Amplifier; CMOS FD SOI Process; D-Band

Ⅰ. 서 론

수 mm 이내의 정밀도를 가지는 레이다나 수십 Gbps의 초고속 무선 데이터 통신을 위해 광대역 mm파 무선 시스템의 필요성이 대두되고 있다. 300 GHz 이하의 mm파 대역 중 140 GHz 대역은 비허가 대역으로 지정되어 있으며, 공기 중에서의 감쇠가 작아 무선통신 용도에 적합하다. 따라서, 최근 CMOS 공정의 발전으로 D-band에서 동작하는 송수신기에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다[1],[2].

본 논문에서는 D 밴드 수신기 설계의 일환으로 28-nm CMOS FD SOI 공정을 사용하여 140 GHz 대역 고이득 차동 저잡음 증폭기를 설계한 결과를 제시한다. Ⅱ장에서는 회로의 설계 내용에 대해 설명하고, Ⅲ장에서는 측정 및 시뮬레이션 결과를, 마지막으로 Ⅳ장에서는 결론을 제시한다.

Ⅱ. 회로 설계

설계한 저잡음 증폭기는 3단 차동 공통소스 구조를 사용하였다. 공통소스 구조는 밀리미터파 대에서 게이트와 드레인 사이에 존재하는 피드백 커패시터 Cgd에 의해 높은 이득과 안정성을 동시에 확보하기 어렵지만, 증폭기를 차동으로 설계하고, 커패시터 Cc를 교차 연결함으로써 Cgd를 상쇄시켜 차동 쌍의 최대가용이득과 안정성을 확보하였다.

그림 1은 단순화한 커패시턴스 중화 모델이고, 이를 토대로 최대 가용 이득(maximum available gain: MAG)과 안정지수 k값을 다음 식으로 구할 수 있다[3].

M A G = w 2 ( C g d C C ) 2 R g R d w | C g d C C | ( k k 2 1 )
(1)
k = 2 + w 2 ( C g d C C ) 2 R g R d w | C g d C c | R g R d w 2 ( C g d C C ) 2 + g m 2
(2)
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그림 1. | Fig. 1. 단순화한 커패시턴스 중화 모델 | Simplified capacitance neutralization model.
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식 (1), (2)에서 볼 수 있듯이, MOSFET의 Cgd만을 고려한 경우, 중화 커패시턴스 CcCgd와 같을 때 중화된 차동 쌍은 가장 높은 이득과 안정성을 보인다. 그림 2Cc에 따른 MAG와 k의 변화를 보여준다. 따라서 커패시턴스 CgdCc의 공정간 오차를 최소화하기 위해 Cgd와 공정간 오차가 유사한 MOS 커패시터를 중화 커패시턴스 Cc로 사용하였다.

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그림 2. | Fig. 2. Cc에 따른 MAG와 k의 변화 | Variation of MAG and k with Cc at 140 GHz.
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본 논문에서 사용된 MOSFET의 크기는 전력 소모를 고려하여 단일 가지 너비 0.75 μm를 기준으로 FET의 폭을 18 μm로 결정하였다. MOS 커패시터 Cc는 증폭기와 동일하게 단일 가지 너비 0.75 μm를 기준으로 FET의 폭을 13.5 μm로 결정하였다. 18 μm 차동 증폭단을 캐패시터 중화하였을 때 단일 차동 증폭단의 MAG는 그림 3과 같으며, 140 GHz에서는 10.54 dB이다.

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그림 3. | Fig. 3. 주파수에 따른 MAG의 변화 | Variation of MAG with frequency.
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mm파 대역에서는 증폭기 한 단의 가용 이득이 낮기 때문에 여러 단으로 증폭기를 설계하게 된다. 본 논문에서는 임피던스 정합 회로의 구조가 간단하고, 정합 회로에서의 손실이 적은 트랜스포머를 이용하여 그림 4와 같이 3단의 공통 소스 증폭기로 구성하였다. 그림 5는 각 단의 임피던스 정합을 위한 트랜스포머 모델을 나타낸 것이다. 트랜스포머는 1차 권선의 총 인덕턴스 Lp, 자기 결합 계수 k, 권선비 N으로 모델링할 수 있으며, 작은 면적에서 차동 증폭기의 각 단 임피던스 정합을 구현할 수 있는 장점이 있다. 트랜스포머의 Lp, k, N을 결정할 수 있다[4]. 이렇게 결정된 트랜스포머 파라메터를 그림 6의 금속층 구성 정보와 같이 두꺼운 금속층인 OI 레이어를 이용하여 수평 결합 구조로 설계하였다. 전자기 시뮬레이션에는 Ansoft사의 HFSS를 사용하였다.

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그림 4. | Fig. 4. 설계한 저잡음 증폭기 회로도 | Low-noise amplifier schematic.
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그림 5. | Fig. 5. 임피던스 매칭을 위한 트랜스포머 모델 | Transformer model for impedance matching.
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그림 6. | Fig. 6. 단순화한 커패시턴스 중화 모델 | Metal layer information of 28-nm FD SOI process and horizontal coupled structure transformer.
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Ⅲ. 측정 및 시뮬레이션 결과

그림 9는 제안한 저잡음 증폭기를 28-nm CMOS FD SOI 공정으로 제작한 사진이다. Agilent사의 E8361A Power Network Analyzer를 이용하여 온 칩 프로빙으로 측정했다. 그림 7과 같이 잡음지수를 시뮬레이션하여 확인하였으며, 그림 8은 설계한 3단 차동 공통소스 저잡음 증폭기의 시뮬레이션 값과 측정값을 비교한 결과이다. 설계한 증폭기는 139 GHz에서 15.17 dB의 최대이득과 11 GHz의 3-dB 대역폭을 보이며, 시뮬레이션 결과로 얻은 최소 잡음 지수는 8.8 dB이다. 입력 발룬의 positive /negative 위상차는 2°이다. 제작한 칩은 패드를 포함해 0.255 mm2의 면적을 가지며, 1.0 V 공급 전압에서 27 mW의 직류 전력을 소모한다. 표 1에서는 설계한 증폭기의 성능을 기존의 저잡음 증폭기들과 비교하였다. 시뮬레이션 대비 최대 이득의 저하 이유는 분석 중이며, 전자기 시뮬레이션의 한계로 인해 트랜스포머 하층의 메탈 더미 효과를 고려할 수 없었는데, 실제 회로에서는 이 효과로 트랜스포머의 Q가 낮아진 것이 원인의 하나로 추정된다.

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그림 7. | Fig. 7. 시뮬레이션을 이용한 S(2,1)과 잡음지수 | Simulated S(2,1) and noise figure.
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그림 8. | Fig. 8. 시뮬레이션과 측정 S-파라미터 결과 | Simulated and measured S-parameter result.
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그림 9. | Fig. 9. 저잡음 증폭기 칩의 현미경 사진 | Chip micrograph of the LNA.
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표 1. | Table 1. 저잡음 증폭기 성능 비교 | Performance comparison with other works.
Ref. Process Type Peak gain (dB) Peak gain frequency (GHz) 3-dB BW (GHz) Noise figure (dB) PDC(mW) Chip area (mm2)
[5] 65-nm CMOS 6-stage combined cascode and CS 22.4 120 16 11.4* 61 NA
[6] 65-nm CMOS 8-stage CS 14.4 126 17 12 22.6 1.9
This work 28-nm CMOS FD SOI 3-stage CS 15.17 139 11 8.8* 27 0.255

Simulated value

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Ⅳ. 결 론

본 논문에서는 28-nm CMOS FD SOI CMOS 공정을 사용하여 D-band 저잡음 증폭기를 설계하였다. 제작한 저잡음 증폭기는 139 GHz에서 최대이득 15.17 dB를 가지며, 11 GHz의 3-dB 대역폭을 가진다. 향후 레이다 및 고속 데이터 통신 수신기에 활용할 수 있을 것으로 기대된다.

Acknowledgements

이 연구는 삼성전자(Samsung Electronics Co., Ltd) 지원으로 수행한 연구 결과임.

References

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A. Visweswaran, K. Vaesen, S. Sinha, I. Ocket, M. Glassee, and C. Desset, et al., “9.4A 145 GHz FMCW-radar transceiver in 28 nm CMOS,” in 2019 IEEE International Solid-State Circuits Conference (ISSCC), San Francisco, CA, Feb. 2019, pp. 168-170.

[2].

J. Elkind, E. Socher, “A 154~165 GHz LNA and receiver in CMOS 65 nm technology,” in 2016 11th European Microwave Integrated Circuits Conference (EuMIC), London, Oct. 2016, pp. 393-396.

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H. Asada, K. Matsushita, K. Bunsen, K. Okada, and A. Mastsuzawa, “A 60 GHz CMOS power amplifier using capacitive cross-coupling neutralization with 16% PAE,” in 2011 41st European Microwave Conference, Manchester, Oct. 2011, pp. 1115-1118.

[4].

J. R. Long, “Monolithic transformers for silicon RF IC design,” IEEE Journal of Solid-State Circuits, vol. 35, no. 9, pp. 1368-1382, Sep. 2000.

[5].

C. J. Lee, T. H. Jang, “A CMOS D-band low noise amplifier with 22.4 dB gain and a 3 dB bandwidth of 16 GHz for wireless chip to chip communication,” 2017 PIERS, Nov. 2017.

[6].

K. Katayama, K. Takano, S. Amakawa, T. Yoshida, and M. Fujishima, “14.4-dB CMOS D-band low-noise amplifier with 22.6-mW power consumption utilizing bias-optimization technique,” in 2016 IEEE International Symposium on Radio-Frequency Integration Technology (RFIT), Taipei, Aug. 2016, pp. 1-3, 2016.
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